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晶圓表面缺陷檢測系統中的切割槽深度與寬度檢測技術
2024-12-18

在半導體制造業中,晶圓作為芯片的基礎材料,其表面質量直接決定了最終產品的性能和可靠性。隨著技術的不斷進步,晶圓表面缺陷檢測系統已成為確保產品質量的關鍵環節。其中,切割槽的深度與寬度檢測是評估晶圓加工精度和完整性的一項重要指標。切割槽是在晶圓...

  • 2022-02-14

    硬化涂層膜厚儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案,要求的光斑尺寸小到幾個微米,如微圖案表面,粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺計算機控制的XY工作臺,使其快速、方便和準確地描繪樣品的厚度和光學特性圖。工作原理:本產品采用電磁感應法測量涂層的厚度。位于部件表面的探頭產生一個閉合的磁回路,隨著探頭與鐵磁性材料間的距離的改變,該磁回路將不同程度的改變,引起磁阻及探頭線圈電感的變化。利用這一原理可以精確地測量探頭與鐵磁性材料間的距離,即涂層厚度。硬化涂層膜厚儀的符合...

  • 2022-02-10

    去膠工藝是微加工過程中一個重要的過程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對光刻膠進行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對樣片是否有損傷等問題,將直接影響后續工藝的順利完成。等離子去膠性能出色的組件和軟件,可對工藝參數進行精確控制。它的工藝監測和數據采集軟件可實現嚴格的質量控制。該技術已經成功的應用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領域。產品具有去膠快速*;對樣片無損傷;操作簡單安全;設計緊湊美觀;產品性價比高等...

  • 2022-01-23

    紅外激光測厚儀是用來測量材料及物體厚度的儀表,它常用來連續或抽樣測量鋼板、鋼帶、薄膜、紙張、金屬箔片等材料等產品的厚度。目前國內廠家普遍采用人工測量和控制的方法來管控板材的厚度,這存在著測量精度差的、成材率低等弊端,因此采用專業的測厚儀來能有效地改善測控環境,提高生產效率、提高成材率和產品質量。目前本產品主要應用于鋰電池正、負極涂布、鋰電池正、負極輥壓的厚度測量,以實際情況為例,使用時,可放置激光測厚儀于銀壓后和收卷前,在具有極片張力波動和銀壓機振動的復雜工況下測量設備使用浮...

  • 2022-01-18

    電容式位移傳感器具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩定性好,抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優點。在國內研究所,高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應用,成為科研、教學和生產中一種*的測試儀器。應用范圍:主要用于解決下述各種測量問題:壓電微位移、振動臺,電子顯微鏡微調,天文望遠鏡鏡片微調,精密微位移測量等。性能:電容式位移傳感器的電容器極板多為金屬材料,極板間襯物多為無機材料,如空氣、玻璃、陶瓷、石英...

  • 2022-01-13

    折射率測量儀是利用周圍光線進行測量,不用電池和任何電源,它適合在實驗室或野外使用,取一滴樣品滴到棱鏡中,并讀取數值就可以了。他的手柄具有橡皮涂層,可與測量溶液*隔離,可避免使用者自身熱量的散發使測量值出現誤差。我們所有的折射計產品都具有自動溫度補償功能:在10°C-30°C時,如自動溫度補償設定為20°C,那么他會自動調整溫度,也可以利用蒸餾水重新校準,產品裝配專用塑料盒子和校準起子。測量原理:通過測量棱鏡的折射角確定光學材料的折射率,講反射鏡式平行光管安裝在氣動軸承上,利用...

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